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元素分析測試方法

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  X射線能譜:X射線能譜是微區(qū)成分分析最為常用的一種方法,其物理基礎是基于樣品的特征X射線。當樣品原子內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時,會在內(nèi)層電子處產(chǎn)生一個空缺,原子處于能量較高的激發(fā)狀態(tài),此時外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補內(nèi)層電子的空缺,從而釋放出具有一定能量的特征X射線。
 
  電子能量損失譜:入射電子穿透樣品時,與樣品發(fā)生非彈性相互作用,電子將損失一部分能量。如果對出射電子按其損失的能量進行統(tǒng)計計數(shù),便得到電子的能量損失譜。由于非彈性散射電子大都集中分布在一個頂角很小的圓錐內(nèi),適當?shù)胤胖锰筋^,EELS的接受效率會很高,相比EDS分析,EELS的記譜時間更短,特別是用于小束斑分析薄樣品時。
 
  EDS在探測輕元素(Z<11)時只有1%的信號能接收到,且譜線重疊比較嚴重,而EELS的能量分辨率(1eV)遠高于EDS(130eV),因此,EELS在探測輕元素方面更有優(yōu)勢;而且,除了對樣品進行定性和定量的成分分析外,EELS的精細結(jié)構(gòu)還可提供元素的化學鍵態(tài)、最近鄰原子配位等結(jié)構(gòu)信息,這是其他電子顯微分析方法所不能比擬的。
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